產品詳情

項目名稱：福建******電科技有限公司SMT凈化車間項目
項目規模：1700平方米
潔 凈 度：十萬級
潔 凈 區：1000平方米

SMT凈化車間系統技術參數  

換氣次數：≥18次
室內正壓:潔凈區與相鄰潔凈區之間≥10Pa，潔凈區與非潔凈區之間≥15Pa
溫度：22±2℃
濕度：65%±5%RH，電子車間濕度略高以免產生靜電
噪聲：≤65dB(A)
新風補充量：總送風量的10%-30%
照度：300LX

 SMT凈化車間各結構系統  

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面采用環氧自流坪地坪，有防靜電要求的，選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。 

設計及施工內容  

該項目涉及設計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風風調系統工程、車間排風系統工程、配電系統工程、工藝管道工程、給排水工程

潔凈室系統技術參數   
1、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2、平均風速：0.3－0.5m/s（百級）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風補充量是總送風量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區域，千級－30萬級用于生產制造區域
9、ESD也是半導體制造環境控制的重要內容，靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產品的良率。

半導體凈化車間設計及注意事項  

1、半導體凈化無塵車間內部要確保塵埃粒子只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。
3、所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，凈化無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內回旋停滯的機會與時間減至低程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防安全報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。